Изделия для высокого вакуума, щелевые затворы

- Щелевой затвор для подложек 300 мм
- Длительный срок эксплуатации - 3 млн циклов
- Образование частиц снижено минимум на 1/5
- Механическая блокировка в конечных положениях
- Сильфоны можно заменить, разобрав верхнюю часть (исполнение по запросу)
- Взаимозаменяем с текущей моделью XGT

- Щелевые затворы серии XGT используются для изоляции различных вакуумных камер в оборудовании для производства полупроводников и т.п.

- Уплотнение со скребком для защиты полости
- Упругое демпфирование для открытия и закрытия: поглощения ударов
- Стопор конечного положения
- Срок службы два миллиона циклов
-->